申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117783401A

主分类号：G01N30/66

分类号：G01N30/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道，将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声，同时，减少了一路载气的需求，降低了气相色谱系统的供气负担；本发明的微热导检测器结构简单，能有效提高检测器的检测灵敏度，同时降低气相色谱系统的供气负担，有利于便携式应用，可进一步促进气相色谱系统的微型化。

主权项：1.一种单沟道微热导检测器，其特征在于，所述单沟道微热导检测器包括：基板，所述基板中设置有微沟道；热敏电阻，所述热敏电阻包括设置于所述基板上的第一热敏电阻与第四热敏电阻，以及通过支撑结构悬挂于所述微沟道内的第二热敏电阻与第三热敏电阻；导电连接件，所述导电连接件设置于所述基板上且连接所述热敏电阻构成惠斯通电桥结构；盖板，所述盖板与所述基板键合，通过所述盖板覆盖所述微沟道构成闭合微沟道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 单沟道微热导检测器及其制备方法

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