申请/专利权人：上海德硅凯氟光电科技有限公司

申请日：2023-10-20

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117773671A

主分类号：B24B5/35

分类号：B24B5/35;B24B5/50;B24B5/04;B24B41/06;B24B41/02

优先权：["20231019 CN 202322803581X"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：一种晶棒滚圆夹具的同心定位装置，包括晶棒定位装置、滚圆夹具定位装置；晶棒定位装置包括第一斜杆、第二斜杆、第三斜杆和第四斜杆；滚圆夹具定位装置包括两个高度调节装置，高度调节装置中包括固定端和升降端，固定端中设置有定位孔。本发明先利用晶棒定位装置、滚圆夹具定位装置进行定位，使得晶棒轴心与滚圆夹具的轴心位于同一竖直平面中，再利用高度调节装置调节滚圆夹具的高度，使滚圆夹具的轴心与晶棒的轴心位于同一水平面，从而实现滚圆夹具与晶棒同心粘接，操作简单，提升了滚圆夹具和晶棒的同心度，减小了砂轮对晶棒的不均匀冲击，解决了晶棒在滚外圆过程中的摆动问题，减小了晶棒的研磨预留量，提高了研磨效率。

主权项：1.一种晶棒滚圆夹具的同心定位装置，其特征在于：包括一个晶棒定位装置、两个滚圆夹具定位装置；所述晶棒定位装置包括第一斜杆、第二斜杆、第三斜杆和第四斜杆，第一斜杆与第二斜杆之间、第三斜杆与第四斜杆之间均通过第一转轴铰接，第一斜杆与第三斜杆的顶端之间、第二斜杆与第四斜杆的顶端之间均各自连接有一个圆柱型支撑杆，圆柱型支撑杆平行于第一转轴；任意一个滚圆夹具定位装置均各自包括一个高度调节装置，两个高度调节装置对称设置在晶棒定位装置的两侧，任意一个高度调节装置中均各自包括一个固定端和一个升降端，升降端通过升降机构与固定端连接，所述固定端中设置有一个定位孔，所述定位孔与所述第一转轴同轴设置，所述第一转轴的两端端面中分别设置有一个螺纹孔，任意一个定位孔中均各自设置有一个定位螺栓，所述定位螺栓穿过定位孔后伸入所述螺纹孔中，所述升降端的顶部设置有一个V型支架，V型支架开口向上，所述定位螺栓的轴心与所述V型支架的竖直中心线相交。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海德硅凯氟光电科技有限公司 一种晶棒滚圆夹具的同心定位装置

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