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【实用新型】一种用于单晶硅棒电阻率测试的定位装置_曲靖晶龙电子材料有限公司;昆明理工大学_202322131354.7 

申请/专利权人:曲靖晶龙电子材料有限公司;昆明理工大学

申请日:2023-08-09

公开(公告)日:2024-04-23

公开(公告)号:CN220829538U

主分类号:G01R1/04

分类号:G01R1/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.23#授权

摘要:本实用新型公开了一种用于单晶硅棒电阻率测试的定位装置,涉及单晶硅棒测试技术领域。包括固定台和定位板;固定台的顶部设有通孔,通孔用于固定单晶硅棒的头料或尾料;定位板水平放置于头料或尾料的待测截面上,定位板的中心位置设有第一测试孔,第一测试孔的四周设置有四个第二测试孔,第一测试孔用于定位待测截面的圆心位置,第二测试孔用于定位待测截面直径的四分之一位置。本实用新型通过固定台对单晶硅棒进行固定,通过定位板上的第一测试孔和第二测试孔定位待测单晶硅棒的电阻率测试点,无需再利用尺子定位,既可以提高测试效率,又可以保持测试点位固定,避免人为差异引起的测试误差,从而提高测试数据的可靠性和重现性。

主权项:1.一种用于单晶硅棒电阻率测试的定位装置,其特征在于,包括固定台和定位板;所述固定台的顶部设有通孔,所述通孔用于固定单晶硅棒的头料或尾料;所述定位板水平放置于头料或尾料的待测截面上,所述定位板的中心位置设有第一测试孔,所述第一测试孔的四周设置有四个第二测试孔,所述第一测试孔用于定位待测截面的圆心位置,所述第二测试孔用于定位待测截面直径的四分之一位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 曲靖晶龙电子材料有限公司;昆明理工大学 一种用于单晶硅棒电阻率测试的定位装置

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