申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司

申请日：2022-04-18

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN116960716B

主分类号：H01S3/097

分类号：H01S3/097

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2023.11.14#实质审查的生效;2023.10.27#公开

摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔104出现能量掉点时，根据功率放大放电腔104在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔104在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的功率放大放电腔104的电压设定值；在主振荡放电腔103出现能量掉点时，根据功率放大放电腔104在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一次脉冲的功率放大放电腔104的电压设定值。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。

主权项：1.一种准分子激光器能量掉点恢复方法；其中，所述准分子激光器包括能量控制模块（101）、执行机构（102）、主振荡放电腔（103）、功率放大放电腔（104）、MO能量传感器（105）和PA能量传感器（106）其特征在于包括以下步骤：在所述功率放大放电腔（104）出现能量掉点时，根据所述功率放大放电腔（104）在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及所述功率放大放电腔（104）在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的所述功率放大放电腔（104）的电压设定值；在所述主振荡放电腔（103）出现能量掉点时，根据所述功率放大放电腔（104）在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一个脉冲的所述功率放大放电腔（104）的电压设定值，还包括：计算所述主振荡放电腔（103）出现能量掉点的个数，和或所述功率放大放电腔（104）出现能量掉点的个数；当所述主振荡放电腔（103）出现能量掉点的次数达到MO能量掉点门限值，或所述功率放大放电腔（104）出现能量掉点的次数达到PA能量掉点门限值，则触发上位机、光刻机或风机控制器。

全文数据：

权利要求：

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