申请/专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220691994U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型涉及一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架，所述主体框架的前端连接有安装座，所述安装座上连接有安装平台，所述安装平台上连接有foup，所述主体框架的前端连接有防呆框架，所述防呆框架位于安装座的下方设置，所述防呆框架内连接有用于防呆foup的升降防呆组件，所述升降防呆组件位于foup的前方设置。本实用新型可以防止操作人员的误操作。

主权项：1.一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架1，所述主体框架1的前端连接有安装座2，所述安装座2上连接有安装平台3，所述安装平台3上连接有foup4，其特征在于：所述主体框架1的前端连接有防呆框架5，所述防呆框架5位于安装座2的下方设置，所述防呆框架5内连接有用于防呆foup4的升降防呆组件6，所述升降防呆组件6位于foup4的前方设置；所述升降防呆组件6包括防呆安装板61，所述防呆安装板61连接在防呆框架5的上，所述防呆安装板61上连接有带座轴承62，所述带座轴承62上连接有丝杆63，所述丝杆63上连接有在其滑动的滑动块64，所述滑动块64上连接有连接板65，所述连接板65上连接有升降的防呆板66，所述防呆安装板61上连接有与丝杆63相驱动连接的驱动电机67。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 一种loadport上foup防呆装置

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