申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220685232U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型涉及电池制造技术领域，尤其涉及一种磁棒组件及磁控溅射设备。该磁棒组件包括磁轭和第一磁铁单元。其中，在磁轭上，沿磁轭的长度方向设置有多个第一磁铁单元，第一磁铁单元包括多个第一磁铁，多个第一磁铁呈海尔贝克阵列排布，且第一磁铁单元呈扇形状或梯形状，第一磁铁单元的外表面能够与靶材的内表面贴合，或，第一磁铁单元的外表面能够与靶材的内表面保持预设间隙。通过对第一磁铁单元中的第一磁铁按照海尔贝克阵列的方式进行排布，从而能够最充分地利用第一磁铁组合在一起时产生的磁场强度，使得该磁棒组件不仅能够提高磁场强度，还能够确保具有较窄的溅射角度，达到节约成本的目的。

主权项：1.磁棒组件，其特征在于，包括：磁轭100；在所述磁轭100上，沿所述磁轭100的长度方向设置有多个第一磁铁单元200，所述第一磁铁单元200包括多个第一磁铁210，多个所述第一磁铁210呈海尔贝克阵列排布，且所述第一磁铁单元200呈扇形状或梯形状，所述第一磁铁单元200的外表面能够与靶材的内表面贴合，或，所述第一磁铁单元200的外表面能够与靶材的内表面保持预设间隙。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 磁棒组件及磁控溅射设备

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