申请/专利权人：上海昶火微电子科技有限公司

申请日：2023-08-16

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220690152U

主分类号：G01D11/30

分类号：G01D11/30;G01D11/00;C23C16/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，属于PECVD腔体内传感器安装技术领域，所述腔体上设置有真空法兰，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件安装在所述真空法兰上，所述发射接收组件为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件固定连接，所述安装装置包括安装座以及位于所述安装座内的密封架，所述安装座套设于所述真空法兰末端且能够以所述真空法兰的中心线为轴线进行转动，所述密封架包括第一密封架与第二密封架，所述第一密封架及所述第二密封架均固定于所述安装座内。本实用新型仅需在腔体外部对光纤传感器进行调整，有效避免了作业人员进入腔体内部，有利于作业人员的安全保障，提高操作效率。

主权项：1.一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，所述腔体10上设置有真空法兰20，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件30安装在所述真空法兰20上，其特征在于，所述发射接收组件30为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件30固定连接，所述安装装置包括安装座40以及位于所述安装座40内的密封架50，所述安装座40套设于所述真空法兰20末端且能够以所述真空法兰20的中心线为轴线进行转动，所述密封架50包括第一密封架51与第二密封架52，所述第一密封架51及所述第二密封架52均固定于所述安装座40内，所述第一密封架51为水平设置，对真空法兰20末端进行密封，所述第二密封架52通过连接组件60与所述发射接收组件30连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海昶火微电子科技有限公司 一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置

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