申请/专利权人：株式会社爱发科

申请日：2023-07-24

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117800088A

主分类号：B65G49/06

分类号：B65G49/06;H01L21/677;H01L21/67;H10K59/12;H10K71/16;B65G43/00

优先权：["20220930 JP 2022-158963"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本发明提供一种运转成本的削减效果高的运输装置，其用于在真空室内在一个方向上运输能够使被处理基板以其处理面开放的状态设置的运输托盘。运输装置TM具备一对运输单元Tm1、Tm2，各运输单元具有：运输带23a、23b，其卷绕在沿运输托盘的运输方向留出间隔设置的两个旋转部件21a、21b、22a、22b之间并环绕行进；以及多个支撑辊24，其支撑载置有运输托盘的运输带的部分。运输带构成为，在使各运输带同步环绕行进，重复进行跨置于这些运输带载置的运输托盘向X轴方向的运输时，比运输托盘优先变形。

主权项：1.一种运输装置，用于在真空室内在一个方向上运输运输托盘，所述运输托盘能够使被处理基板以其处理面开放的状态设置，其特征在于：具备一对运输单元，以在被处理基板面内彼此正交的方向为X轴方向和Y轴方向，在Y轴方向上留出间隔地配置该一对运输单元，各运输单元分别具有：运输带，其卷绕在沿X轴方向留出间隔设置的两个旋转部件之间并环绕行进；以及多个支撑辊，其在X轴方向留出间隔设置，支撑载置有所述运输托盘的所述运输带的部分；所述运输带构成为，在使所述一对运输单元的各运输带同步环绕行进，重复进行跨置于这些运输带载置的所述运输托盘向X轴方向的运输时，比运输托盘优先变形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社爱发科 运输装置及具有该运输装置的一列式真空处理装置

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