申请/专利权人：上海芙野光学技术有限公司

申请日：2024-01-17

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117806132A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种照明光学系统，包括光源、第一光学积分器、第二光学积分器和被照射面；所述光源的光线依次通过第一光学积分器，第二光学积分器到达被照射面，所述光源和被照射面间满足科勒照明的条件；所述第一光学积分器、第二光学积分器为复眼透镜或光棒；本发明提供的照明光学系统，提高了光学系统中任意位置的光能量分布均匀性；从而提高投影曝光热稳定性，改善曝光精度，延长光学系统使用寿命。

主权项：1.一种照明光学系统，其特征在于，包括光源、第一光学积分器、第二光学积分器和被照射面；所述光源的光线依次通过第一光学积分器，第二光学积分器到达被照射面，所述光源和被照射面间满足科勒照明的条件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海芙野光学技术有限公司 一种照明光学系统

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