申请/专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810070A

主分类号：H01L21/265

分类号：H01L21/265;H01J37/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法，所述静电扫描系统包括电极板组件、剂量法拉第和靶台；所述剂量法拉第上设有束流通道；所述电极板组件位于剂量法拉第的一侧，用于实现束流水平和垂直方向的扫开；所述靶台位于剂量法拉第的另一侧，用于实现样品的旋转；所述全电扫描方法包括步骤：靶室内部靶台上的样品预先按一定角度倾斜，同时以一定转速进行转动，并送达至靶室的注入区域；束流通过电极板组件在水平和垂直方向上扫开形成一个方形束斑，通过剂量法拉第上的束流通道后，进入至靶室内的注入区域，实现对样品外表面的束流注入。本发明具有操作简便、成本低等优点。

主权项：1.一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法，其特征在于，所述静电扫描系统包括电极板组件、剂量法拉第和靶台；所述剂量法拉第上设有束流通道；所述电极板组件位于剂量法拉第的一侧，用于实现束流水平和垂直方向的扫开；所述靶台位于剂量法拉第的另一侧，用于实现样品的旋转；所述全电扫描方法包括步骤：靶室内部靶台上的样品预先按一定角度倾斜，同时以一定转速进行转动，并送达至靶室的注入区域；束流通过电极板组件在水平和垂直方向上扫开形成一个方形束斑，通过剂量法拉第上的束流通道后，进入至靶室内的注入区域，实现对样品外表面的束流注入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法

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