申请/专利权人：中国科学院上海高等研究院

申请日：2024-01-24

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117806135A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种快速换样装置，曝光腔体和第一换样腔体之间设置有第一真空阀门，曝光腔体和第二换样腔体之间设置有第二真空阀门，曝光腔体内安装有样品台，可移动的样品架通过电磁吸附装置固定在电磁挂杆上，第一传送杆设置为在真空状态下在第一换样腔体和曝光腔体之间移动以将样品架从第一换样腔体内的第一位置转移进入曝光腔体内的第二位置，第二传送杆设置为在真空状态下在曝光腔体和第二换样腔体之间移动以将样品架从曝光腔体内的第二位置转移进入第二换样腔体内的第三位置。本发明还涉及快速换样装置的快速换样方法。根据本发明的快速换样装置及其快速换样方法，在样品更换时不破坏曝光腔体的真空状态，实现样品的快速更换，提升实验效率。

主权项：1.一种快速换样装置，其特征在于，该快速换样装置包括曝光腔体、第一换样腔体、第二换样腔体、第一传送杆和第二传送杆，其中，曝光腔体和第一换样腔体之间设置有第一真空阀门，曝光腔体和第二换样腔体之间设置有第二真空阀门，曝光腔体内安装有样品台，可移动的样品架通过电磁吸附装置固定在样品台的电磁挂杆上，第一传送杆设置为在真空状态下在第一换样腔体和曝光腔体之间移动以将样品架从第一换样腔体内的第一位置转移进入曝光腔体内的第二位置，第二传送杆设置为在真空状态下在曝光腔体和第二换样腔体之间移动以将样品架从曝光腔体内的第二位置转移进入第二换样腔体内的第三位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海高等研究院 一种快速换样装置及其快速换样方法

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