申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2024-03-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804348A

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02;G01D5/26;G01B11/00;G06F17/15

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于纵向莫尔条纹相关计算的光栅位移传感器，包括基座、光栅调节定位装置、一字激光器、激光干涉仪、线阵CCD、光栅位移驱动组件以及光栅位移计算系统；光栅调节定位装置内设置有固定的指示光栅和可水平横向移动的标尺光栅；线阵CCD固定位于通光孔的后侧，光栅位移驱动组件包括菱形位移驱动放大机构和压电致动器，菱形位移驱动放大机构的动力输出端与标尺光栅的端部固定连接，光栅位移计算系统包括与线阵CCD通讯连接的FPGA以及与FPGA通讯连接的PC机，PC机内设置有基于MatLab软件的归一化互相关算法程序。与传统的光栅采用的光电探测器相比，该光栅位移传感器具备高鲁棒性和灵活性的能力，能够实现在线精确位置测量。

主权项：1.一种基于纵向莫尔条纹相关计算的光栅位移传感器，其特征在于：包括基座、光栅调节定位装置、一字激光器、激光干涉仪、线阵CCD、光栅位移驱动组件以及光栅位移计算系统；所述光栅调节定位装置包括栅尺定位主支架、与栅尺定位主支架相对设置的栅尺定位副支架，栅尺定位主支架的中部开设有通光孔，通光孔的顶部两侧和底部两侧分别转动安装有垂向位置可调的横向调整导向滑轮，栅尺定位主支架的前侧面上固定设置有位于通光孔前侧的指示光栅，上、下两组横向调整导向滑轮之间活动夹持有平行设置于指示光栅前侧且可水平横向移动的标尺光栅，标尺光栅和指示光栅形成光栅副；栅尺定位主支架的前侧面两端均转动安装有至少一个水平纵向位置可调且与标尺光栅后侧面滚动接触的主纵向调整导向滑轮，所述栅尺定位副支架的侧面上转动安装有与主纵向调整导向滑轮配对设置且与标尺光栅前侧面滚动接触的副纵向调整导向滑轮；所述一字激光器固定设置于标尺光栅的前侧方，向光栅副提供点光源，光栅副形成纵向莫尔条纹；所述激光干涉仪检测标尺光栅的位移得到参考位移输出；所述线阵CCD与指示光栅平行设置且固定位于通光孔的后侧；所述光栅位移驱动组件包括固定设置于标尺光栅一端外侧的位放支架，位放支架的侧面固定连接有菱形位移驱动放大机构，菱形位移驱动放大机构的内部动力输入端设置有压电致动器，菱形位移驱动放大机构的动力输出端与标尺光栅的端部固定连接；所述光栅位移计算系统包括与线阵CCD通讯连接的FPGA以及与FPGA通讯连接的PC机，所述PC机内设置有基于MatLab软件的归一化互相关算法程序。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种基于纵向莫尔条纹相关计算的光栅位移传感器

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