申请/专利权人：中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810154A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及芯片拾取技术领域，具体提供一种翻转塔机构及芯片拾取方法，包括：机械手、顶针机构、X向驱动、Y向驱动和视觉校正系统，机械手设于顶针机构的上方，机械手上设置有多个可转动切换的执行器吸嘴，用于拾取芯片并放置在顶针机构上；视觉校正系统包括X向光源、Y向光源、X向棱镜、Y向棱镜和视觉传感器。相比于传统机械手，本发明配备了X向驱动和Y向驱动以及视觉校正系统，通过视觉校正系统获取机械手上每个执行器吸嘴的X向偏移量和Y向偏移量，并通过X向驱动和Y向驱动对每个执行器吸嘴进行单独的位置校正，从而将低了因为零件的加工组装误差和执行器更换吸嘴后产生的误差，大大提高了芯片拾取的精度。

主权项：1.一种翻转塔机构，其特征在于，包括：机械手、顶针机构、X向驱动、Y向驱动和视觉校正系统；其中，所述机械手设于所述顶针机构的上方，所述机械手上设置有多个可转动切换的执行器吸嘴，用于拾取芯片并放置在所述顶针机构上；所述X向驱动用于控制所述机械手在X方向上运动；所述Y向驱动用于控制所述机械手在Y方向上运动；所述视觉校正系统包括X向光源、Y向光源、X向棱镜、Y向棱镜和视觉传感器；其中，所述X向光源设于所述顶针机构的X方向上，并通过所述X向棱镜将所述执行器吸嘴的X向投影反射至所述视觉传感器，所述视觉传感器计算所述执行器吸嘴的X向偏移量，并反馈至所述X向驱动，所述X向驱动控制所述机械手带动所述执行器吸嘴运动，补偿其X向偏移量；所述Y向光源设于所述顶针机构的Y方向上，并通过所述Y向棱镜将所述执行器吸嘴的Y向投影反射至所述视觉传感器，所述视觉传感器计算所述执行器吸嘴的Y向偏移量，并反馈至所述Y向驱动，所述Y向驱动控制所述机械手带动所述执行器吸嘴运动，补偿其Y向偏移量。

全文数据：

权利要求：

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