申请/专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810130A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G01F25/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种测量气体流量的方法，包含以下步骤：S1、提供一具有固定体积的用于处理晶圆的腔室，提供至少一测量准确的第一流量控制器，以及至少一第二流量控制器，所述第一流量控制器与所述第二流量控制器并联；S2、仅利用一所述第一流量控制器向所述腔室提供已知流量的第一气体，获得校准因子；S3、仅利用一所述第二流量控制器向所述腔室提供第二气体，根据所述腔室的压力随时间的变化和所述校准因子获得所述第二流量控制器的流量。本发明提供的测量气体流量的方法可适用于大流量的流量控制器的校准，且可在高温环境下进行流量校准。

主权项：1.一种测量气体流量的方法，其特征在于，包含以下步骤：S1、提供一具有固定体积的用于处理晶圆的腔室，提供至少一测量准确的第一流量控制器，以及至少一第二流量控制器，所述第一流量控制器与所述第二流量控制器并联；S2、仅利用一所述第一流量控制器向所述腔室提供已知流量的第一气体，获得校准因子；S3、仅利用一所述第二流量控制器向所述腔室提供第二气体，根据所述腔室的压力随时间的变化和所述校准因子获得所述第二流量控制器的流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏天芯微半导体设备有限公司 测量气体流量的方法和校准流量控制器的方法

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