申请/专利权人：华中科技大学;湖北工业大学

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804375A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明属于波前校平领域，并具体公开了一种四波横向剪切干涉测量时的差分相位校平方法及系统，其包括如下步骤：S1、基于四波横向剪切干涉采集待测样品的干涉图，并获取差分相位；S2、基于差分相位，通过三点迭代拟合方法进行平面拟合，并确定拟合平面法向量；S3、根据拟合平面法向量确定旋转角；S4、根据所述旋转角对差分相位进行旋转校平。本发明可对差分相位进行准确校平，从而通过校平差分相位来减少、消除重建入射波前的倾斜与翘曲。

主权项：1.一种四波横向剪切干涉测量时的差分相位校平方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、基于四波横向剪切干涉采集待测样品的干涉图，并获取差分相位；S2、基于差分相位，通过三点迭代拟合方法进行平面拟合，并确定拟合平面法向量；S3、根据拟合平面法向量确定旋转角；S4、根据所述旋转角对差分相位进行旋转校平。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华中科技大学;湖北工业大学 一种四波横向剪切干涉测量时的差分相位校平方法及系统

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