申请/专利权人:塞莫费雪科学(不来梅)有限公司;FEI公司
申请日:2021-09-10
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN114165669B
主分类号:F16L51/03
分类号:F16L51/03
优先权:["20200911 GB 2014305.3"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.02#授权;2022.03.29#实质审查的生效;2022.03.11#公开
摘要:一种用于将需要振动隔离的基于真空的分析系统连接在一起的联接器,其包括:具有纵向轴线的管状连接器,所述连接器包括用于连接到第一分析系统的第一端和减少振动传递并允许所述第一分析系统在横向于所述连接器的所述纵向轴线的方向上移位的柔性部分;以及与所述柔性部分纵向分离的密封件,其用于所述连接器与第二分析系统之间的真空密封;其中所述连接器含有用于在所述第一分析系统与所述第二分析系统之间传递离子的离子光学器件。
主权项:1.一种用于将需要振动隔离的基于真空的分析系统连接在一起的联接器,其包括:具有纵向轴线的管状连接器,所述连接器包括用于连接到第一分析系统的第一端和用于减少振动传递并允许所述第一分析系统在横向于所述连接器的所述纵向轴线的方向上移位的柔性部分;以及与所述柔性部分纵向分离的密封件,其用于所述连接器与第二分析系统之间的真空密封;其中所述连接器含有用于在所述第一分析系统与所述第二分析系统之间传递离子的离子光学器件。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司;FEI公司 用于连接具有振动隔离的分析系统的联接器
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