申请/专利权人：无锡物联网创新中心有限公司

申请日：2023-06-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN116627001B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.09.08#实质审查的生效;2023.08.22#公开

摘要：本申请公开了一种光刻机工件台的运动控制方法及相关装置，涉及光刻机技术领域，包括：通过前馈补偿控制器对光刻机工件台的预测误差进行迭代处理，得到前馈输出；预测误差为光刻机工件台下一时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；以PIV控制器作为反馈环节对光刻机工件台的实际误差进行处理，得到反馈输出；实际误差为光刻机工件台当前时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；根据前馈输出、反馈输出以及扰动，得到光刻机工件台的期望加速度；根据期望加速度与实际加速度控制光刻机工件台运动。该方法能够高精密的对光刻机工件台进行控制，满足快速响应与精密定位的要求。

主权项：1.一种光刻机工件台的运动控制方法，其特征在于，包括：通过前馈补偿控制器对光刻机工件台的预测误差进行迭代处理，得到前馈输出；所述预测误差为所述光刻机工件台下一时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；以PIV控制器作为反馈环节对所述光刻机工件台的实际误差进行处理，得到反馈输出；所述实际误差为所述光刻机工件台当前时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；根据所述前馈输出、所述反馈输出以及扰动，得到所述光刻机工件台的期望加速度；根据所述期望加速度与实际加速度控制所述光刻机工件台运动；所述通过前馈补偿控制器对光刻机工件台的预测误差进行迭代处理，得到前馈输出包括：根据对光刻机工件台的预测误差进行迭代处理，得到所述前馈输出；其中，i是迭代次数，k是离散时间，uff是所述前馈输出，ε-k+1,i＝ydesk+1,i-yk,i表示第i次的所述预测误差，y是所述光刻机工件台的实际位移，ydes是所述光刻机工件台的期望位移，γk为迭代因子，β为惯性系数；所述以PIV控制器作为反馈环节对所述光刻机工件台的实际误差进行处理，得到反馈输出包括：根据对所述实际误差进行处理，得到所述反馈输出；ufb为所述反馈输出，KP,pos为位置环的比例增益，KP,vel为速度环的比例增益，KI,vel为速度环的积分增益，ε为所述实际误差，k为第k时刻，v为移动速度；所述根据所述前馈输出、所述反馈输出以及扰动，得到所述光刻机工件台的期望加速度包括：将所述前馈输出与所述反馈输出求和后，将所得和值与所述扰动做差；对所得差值依次进行低通滤波处理、陷波滤波处理以及饱和处理，得到所述光刻机工件台的期望加速度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡物联网创新中心有限公司 一种光刻机工件台的运动控制方法及相关装置

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