申请/专利权人：金泰和

申请日：2020-02-27

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112602187B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F04D19/04

优先权：["20190705 KR 10-2019-0081542"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.04.23#实质审查的生效;2021.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种用于半导体制造设备的防泵返流结构，包括检测传感器、隔离空气供给配管以及控制部件，相比于通过半导体制造设备的设备控制部形成的隔离阀的阻断方式，可以相对减少从泵实际发生非正常运转的瞬间到隔离阀的阻断瞬间为止的时间延迟，具有能够杜绝产生抽吸配管内部的微粒在所述隔离阀进行阻断之前向工序腔室流入的返流现象的优点。

主权项：1.一种用于半导体制造设备的防泵返流结构，其中，所述半导体制造设备包括：工序腔室，用于执行制造半导体的工序；抽吸配管，为了在所述工序腔室内形成真空而在所述工序腔室延伸；涡轮泵，配置于所述抽吸配管上，以维持所述工序腔室内部的高真空状态的方式进行抽吸；干泵，在所述抽吸配管上配置于和所述涡轮泵相对隔开的位置，能够助力所述涡轮泵的真空抽吸；以及隔离阀，在所述抽吸配管上配置于所述涡轮泵与所述干泵之间，能够在所述抽吸配管上阻断所述涡轮泵与干泵之间的部分，所述用于半导体制造设备的防泵返流结构，包括：检测传感器，用于实时检测所述干泵运转所需的感应电流值、所述干泵运转所需的感应电压值、构成所述干泵的转子的转数中的至少一个；隔离空气供给配管，从外部向所述隔离阀供给空气，来使所述隔离阀保持开放所述抽吸配管的状态；以及控制部件，根据所述检测传感器检测的所述干泵运转所需的感应电流值、所述干泵运转所需的感应电压值、构成所述干泵的转子的转数中的至少一个，来通过使得通过所述隔离空气供给配管流动的所述空气向所述隔离阀流动或阻断通过所述隔离空气供给配管流动的所述空气向所述隔离阀流动，从而使所述隔离阀开放或阻断所述抽吸配管，所述控制部件包括：三通阀，两个侧方与所述隔离空气供给配管相连接，在剩余一方延伸形成旁路通风管路，三通控制部，能够根据所述检测传感器检测的所述干泵运转所需的感应电流值、所述干泵运转所需的感应电压值、构成所述干泵的转子的转数中的至少一个来控制所述三通阀；若因所述干泵运转所需的感应电流值、所述干泵运转所需的感应电压值、构成所述干泵的转子的转数中的至少一个达到预先设定的基准值以上而通过所述三通控制部判断所述干泵正处于正常运转状态，则所述三通控制部开放所述三通阀中的与所述隔离空气供给配管相连接的两个侧方，关闭所述三通阀中的与所述旁路通风管路相连接的部分，由此，向所述隔离阀供给从外部通过所述隔离空气供给配管流动的所述空气，从而使所述隔离阀保持开放所述抽吸配管的状态，若因所述干泵运转所需的感应电流值、所述干泵运转所需的感应电压值、构成所述干泵的转子的转数中的至少一个下降到小于预先设定的基准值的状态而通过所述三通控制部判断所述干泵正处于非正常运转状态，则所述三通控制部在关闭所述三通阀中的与所述隔离空气供给配管相连接的两个侧方中的与所述隔离阀相连接的部分的同时，开放所述三通阀中的与所述旁路通风管路相连接的部分，由此，使从外部通过所述隔离空气供给配管流动的所述空气通过所述旁路通风管路向外部排出，阻断从外部通过所述隔离空气供给配管流动的所述空气向所述隔离阀流动，所述隔离阀将关闭所述抽吸配管，当所述干泵运转所需的感应电流值和所述干泵运转所需的感应电压值中的至少一个形成在处于规定范围内的稳定状态之后脱离所述稳定状态并且非正常地上升到规定水准后急速下降的模式时，在所述干泵运转所需的感应电流值和所述干泵运转所需的感应电压值中的至少一个脱离所述稳定状态并且非正常地上升到规定水准后急速下降的过程中，所述三通控制部对所述干泵运转所需的感应电流值和所述干泵运转所需的感应电压值中的至少一个是否下降至小于所述预先设定的基准值进行判断。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 金泰和 用于半导体制造设备的防泵返流结构

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