申请/专利权人：株式会社日立高新技术

申请日：2018-05-22

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112189248B

主分类号：H01J37/15

分类号：H01J37/15;H01J37/12;H01J37/141;H01J37/147

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源2；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜4；使探测电子束穿过的第一束射管8及第二束射管9；配置于第一束射管8与试样12之间的减速电极10；通过对第一束射管8施加第一电位，在第一束射管8与减速电极10之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源15；以及使第一束射管8的位置移动的移动机构11。

主权项：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：电子源；物镜，其使来自上述电子源的探测电子束聚焦于试样，且被调整为使上述探测电子束的轨道穿过上述物镜的电流中心轴；第一束射管及第二束射管，其使上述探测电子束穿过；减速电极，其配置于比上述第二束射管配置于靠上述物镜侧的上述第一束射管与上述试样之间；第一电压源，其通过对上述第一束射管施加第一电位，在上述第一束射管与上述减速电极之间形成针对上述探测电子束的减速电场；以及第一移动机构，其使上述第一束射管的位置移动，从而使向上述物镜供给的励磁电流周期性变动时的像的移动成为最小。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社日立高新技术 带电粒子束装置及其轴调整方法

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