申请/专利权人：安徽建筑大学

申请日：2022-07-12

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115323361B

主分类号：C23C18/12

分类号：C23C18/12;B82Y30/00;B82Y40/00;C01G31/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.11.29#实质审查的生效;2022.11.11#公开

摘要：本发明公开了一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法，采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜，其技术特征如下：以一定的摩尔比配制硫酸氧钒和乳酸的混合溶液，于室温下搅拌使其充分络合，使用氨水调节络合溶液的pH值在3.2~4.4范围，之后放入表面洁净的玻璃等基板，沉积反应温度控制在60℃~90℃范围，沉积反应一定时间后即获得的纳米片状前驱体薄膜；所得前驱体薄膜在一定氮气流速下，于一定温度下退火后即得纳米片状VO2薄膜。本发明提供了一种反应温度低、基底要求低、能耗低、可大面积成膜的纳米片状VO2薄膜制备方法。

主权项：1.一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法，其特征在于：采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜，具体步骤如下：1配制一定摩尔浓度比的硫酸氧钒和乳酸的混合溶液，搅拌使其络合均匀；2在混合溶液中加入氨水调节混合溶液的pH值至特定范围；3将清洗干燥后的基板放入调pH值后的混合溶液中，恒温沉积反应一段时间后，取出基板，再冲洗干燥，得到纳米级NH48V19O41OH9H2O11前驱体薄膜；所述基板的清洗干燥步骤如下：使用表面活性剂超声清洗5分钟，再用去离子水冲洗5分钟，最后重复用去离子水超声5分钟清洗3～5次，在80℃真空干燥2小时，待用；4将前驱体薄膜放入管式炉中，在一定流速的氮气气氛保护下，于一定温度下恒温退火处理后，再冷却至室温，得到微观纳米片状VO2薄膜，密封保存；步骤3的恒温沉积的温度为60℃～90℃，时间72小时～240小时。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽建筑大学 一种可相变的纳米片状VO₂薄膜的制备方法

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