申请/专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220707861U

主分类号：F25D31/00

分类号：F25D31/00;C23C14/34;F25D17/02;F25D17/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座，所述固定底座的顶部转动安装有中心柱，且中心柱的顶端外壁固定连接有中心齿轮，所述中心齿轮的一侧啮合有卡齿轮，且卡齿轮的内壁固定连接有转柱；所述固定底座的顶部固定安装有固定板。该平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，通过中心齿轮带动周围的卡齿轮进行同时旋转，使得不同位置的夹持柱同时旋转对背板进行夹持，从而将靶材板固定在工装的内部，然后首先通过风冷扇对靶材板和背板进行风冷，然后再将换热管内部通入液体，进行循环水冷，使得循序将靶材进行冷却处理，避免温差过大导致靶材出现开裂损坏情况，从而保证平面溅射靶材绑定用快速冷却工装的冷却效果。

主权项：1.一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座1，其特征在于：所述固定底座1的顶部转动安装有中心柱5，且中心柱5的顶端外壁固定连接有中心齿轮6，所述中心齿轮6的一侧啮合有卡齿轮7，且卡齿轮7的内壁固定连接有转柱8；所述固定底座1的顶部固定安装有固定板9，所述卡齿轮7的顶部固定连接有夹持柱10，且夹持柱10的一侧挤压设置有背板11，所述背板11的顶部固定连接有靶材板12，所述固定底座1的顶部固定安装有换热管13，且固定底座1的顶部对称设置有风冷扇14。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京欧美达应用材料科技有限公司 一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装

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