申请/专利权人:厦门钨业股份有限公司
申请日:2023-09-04
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN220699229U
主分类号:B24B37/27
分类号:B24B37/27
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.02#授权
摘要:本实用新型涉及研磨设备技术领域,提供了一种夹具及研磨抛光设备。其中,固定盘的中部的通孔被隔板分隔为绕其轴线分布的若干子空间,子空间的周侧壁至少包括一面通孔的内周壁;夹持组件设置于子空间内,第一夹持件的运动方向与通孔的轴线垂直;固定盘设置有两个,两个固定盘沿其轴线分布,且两个固定盘能够沿轴线相互靠近或远离,晶体能够被两个固定盘的夹持组件固定且晶体的待处理端面暴露于固定盘的端面外。通过两个固定盘沿轴向分别为晶体提供两个支撑点,使得晶体在研磨过程中能够减少摆动幅度,提高研磨作用质量,且固定盘能够同时固定多个晶体,使得研磨抛光设备能够同批次对多个晶体进行研磨作业,保障了研磨的一致性。
主权项:1.夹具,用于夹持矩形晶体,其特征在于,包括:固定盘,所述固定盘的中部开设有通孔,所述通孔内设置有隔板11,所述隔板11的端部与所述固定盘连接,将所述通孔分隔为绕其轴线分布的若干子空间12,所述子空间12的周侧壁至少包括一面所述通孔的内周壁;夹持组件20,所述夹持组件20设置于所述子空间12内,包括第一夹持件21,所述第一夹持件21与所述固定盘活动连接,且所述第一夹持件21的运动方向与所述通孔的轴线垂直;所述固定盘设置有两个,两个所述固定盘沿其轴线分布,且两个所述固定盘能够沿轴线相互靠近或远离,所述晶体能够被两个所述固定盘的所述夹持组件20固定且所述晶体的待处理端面暴露于所述固定盘的端面外。
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权利要求:
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