申请/专利权人：中国建材国际工程集团有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802463A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本发明公开一种气体导流隔离装置及系统，包括：框体内部设有一高度能够调节的第一隔板，第一隔板将框体的内部隔成第一空间和第二空间，第一空间位于第二空间的上方，第一隔板上设有一沿竖直方向的第二隔板，第二隔板将第一空间隔成第三空间和第四空间，第三空间与第四空间的上方各设置有一个分子泵，第二空间内阵列设置有若干辊子，辊子的输送面距离第一隔板留有预设距离以形成玻璃输送通道，第二空间相对的两侧壁上设置有与玻璃输送通道相连通的玻璃口，开设有玻璃口的侧壁上对应第三空间与第四空间的位置各设置有一开口。该装置能使相邻的溅射单元的隔离系数更高，减小不同反应气体间的相互影响，同时生产不同厚度产品时，能快速调节通道高度。

主权项：1.一种气体导流隔离装置，其特征在于，包括：框体；所述框体的内部设置有一高度能够调整的第一隔板，所述第一隔板将所述框体的内部分隔成第一空间和第二空间，所述第一空间位于所述第二空间的上方，所述第一隔板的上方设置有一沿竖直方向的第二隔板，所述第二隔板将所述第一空间隔成并列的第三空间和第四空间，所述第三空间与所述第四空间的上方各设置有一个分子泵，所述第二空间内阵列设置有若干辊子，所述辊子的输送面距离所述第一隔板留有预设距离以形成玻璃输送通道，所述第二空间上相对的两侧壁上设置有与所述玻璃输送通道相连通的玻璃口，开设有所述玻璃口的侧壁上对应所述第三空间与所述第四空间的位置各设置有一开口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国建材国际工程集团有限公司 一种气体导流隔离装置与系统

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