申请/专利权人：北京航空航天大学

申请日：2023-11-10

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117849399A

主分类号：G01Q10/06

分类号：G01Q10/06;G01Q20/00;G01Q60/00;G01Q90/00;G05B19/042

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统，包括：模拟信号调理和接口模块，与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接，接收位置探测器采集到的力传感器信号；锁相放大模块，与模拟信号调理和接口模块连接，接收力传感器信号，并基于接收到的力传感器信号确定幅值、相位、X分量和Y分量；Z轴控制模块，与模拟信号调理和接口模块、锁相放大模块均连接，其接收力传感器信号，以及接收幅值和相位,并生成驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制信号；XY轴扫描控制和成像信号采集模块，与锁相放大模块、Z轴控制模块均连接，其接收幅值、相位或X分量、Y分量以及Z向控制信号，并生成驱动压电扫描台在X方向和Y方向上移动的XY控制信号。

主权项：1.一种开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统，其特征在于，所述控制系统包括：模拟信号调理和接口模块，用于与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接，所述模拟信号调理和接口模块接收所述位置探测器采集到的力传感器信号；锁相放大模块，与所述模拟信号调理和接口模块连接，所述锁相放大模块接收所述模拟信号调理和接口模块输出的所述力传感器信号，并基于接收到的所述力传感器信号确定所述力传感器信号的幅值、相位、X分量和Y分量；Z轴控制模块，与所述模拟信号调理和接口模块、所述锁相放大模块均连接，所述Z轴控制模块接收所述模拟信号调理和接口模块输出的力传感器信号，以及接收所述锁相放大模块输出的幅值和相位，并生成用于驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制信号；XY轴扫描控制和成像信号采集模块，与所述锁相放大模块、Z轴控制模块均连接，所述XY轴扫描控制和成像信号采集模块接收所述锁相放大模块输出的幅值、相位或X分量、Y分量，以及接收所述Z轴控制模块输出的所述Z向控制信号，并生成用于驱动压电扫描台在X方向和Y方向上移动的XY控制信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京航空航天大学 开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统

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