申请/专利权人：西南技术物理研究所

申请日：2021-12-27

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114488520B

主分类号：G02B27/00

分类号：G02B27/00;G02B21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开

摘要：本发明公开了一种基于成像清晰度的显微镜像差校正装置，包括光学显微镜、波前校正器、成像探测器、控制器、反射镜，建立显微镜像差实时监测闭环控制回路，其中光学显微镜包含物镜、目镜。波前校正器能够对显微镜系统光路波前相位进行调制，成像探测器能够对显微镜系统光学成像进行探测，控制器能够将成像探测器获取的图像信息进行清晰度计算并计算出波前校正器的校正参数，最终对波前校正器施加校正参数，实现对成像清晰度下降进行校正。本发明可以运用已有的光学显微镜系统，该系统只需增加波前校正器、反射镜，控制过程简单可行，能够提升显微镜光学系统的分辨率，具有实际应用的意义。

主权项：1.一种基于成像清晰度的显微镜像差校正装置，其特征在于，包括光学显微镜、波前校正器、成像探测器、反射镜；观测样品放置于载玻片上，显微镜光源所发出的光线先后经过光学显微镜物镜、反射镜、波前校正器后进行分光，一路光线经过光学显微镜目镜后，通过人眼观测，另一路经过聚焦透镜后在成像探测器靶面成像；还包括：控制器，通过采集卡或网线获取产品成像信息，调制参数通过串口线或网线传输到波前校正器实现闭环控制；所述产品通过聚焦透镜在探测器靶面聚焦成像的特征信息反映在成像清晰度中，通过评价成像清晰度，对波前校正器进行相位调制；成像清晰度评价函数包括灰度变化函数、梯度评价函数、频谱评价函数、熵评价函数；所述成像清晰度评价函数用J1、J2、J3进行描述： 其中u满足：J1为灰度方差，其中fx,y为探测区域每个像素点的光强，靶面共M·N个像素，u为所有光强的平均值，该指标表征成像灰度的变化程度，当图像清晰时，细节更加丰富，故灰度方差越大； J2为灰度梯度模平方，公式中通过平方运算，当图像灰度梯度越大，对函数的贡献越大；同样，当图像清晰度提高时，灰度梯度模平方越大； J3为拉普拉斯函数，其中拉普拉斯算子对图像进行二阶微分运算如公式3所示；以成像清晰度函数作为系统性能优化的评价指标，通过迭代收敛使清晰度函数达到极值，实现系统像差的校正。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西南技术物理研究所 一种基于成像清晰度的显微镜像差校正装置

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