申请/专利权人：上海栎智半导体科技有限公司

申请日：2024-01-22

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117839464A

主分类号：B01F23/231

分类号：B01F23/231;B01F35/21;B01F35/83;B01F23/70;B01F35/71

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请涉及混合设备领域，尤其是涉及一种TCS鼓泡输送系统及其控制方法，TCS鼓泡输送系统包括控制模块、罐体、液位传感器、温度传感器、换热组件、TCS溶液输入组件、氢气输入组件和TCS蒸气输出组件；液位传感器、温度传感器和换热组件均设置于罐体上，TCS溶液输入组件、氢气输入组件和TCS蒸气输出组件均连接于罐体上。本申请具有提升TCS蒸汽浓度的稳定性的效果。

主权项：1.一种TCS鼓泡输送系统，其特征在于，包括控制模块（1）、罐体（2）、液位传感器（4）、温度传感器（5）、换热组件（6）、TCS溶液输入组件（7）、氢气输入组件（8）和TCS蒸气输出组件；所述液位传感器（4）、所述温度传感器（5）和所述换热组件（6）均设置于所述罐体（2）上，所述TCS溶液输入组件（7）、所述氢气输入组件（8）和所述TCS蒸气输出组件均连接于所述罐体（2）上；所述TCS溶液输入组件（7）包括TCS溶液输入管（71）和设置于所述TCS溶液输入管（71）上的第一气动隔离阀（73），所述TCS溶液输入管（71）的两端分别与所述罐体（2）和TCS溶液输入设备连接；所述氢气输入组件（8）包括氢气输入管（81）、依次设置于所述氢气输入管（81）上的调压阀（83）、第一单向阀（85）和第二气动隔离阀（86），所述氢气输入管（81）的两端分别与所述罐体（2）和氢气输入设备连接；所述TCS蒸汽输出组件（10）包括TCS蒸汽输出管（101）和设置于所述TCS蒸汽输出管（101）上的第三气动隔离阀（103）。所述TCS蒸汽输出管（101）的两端分别与所述罐体（2）和外延设备连接；所述控制模块（1）分别与所述液位传感器（4）、所述温度传感器（5）、所述换热组件（6）、所述第一气动隔离阀（73）、所述第二气动隔离阀（86）、所述第三气动隔离阀（103）通讯连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海栎智半导体科技有限公司 TCS鼓泡输送系统及其控制方法

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