申请/专利权人:上海集成电路材料研究院有限公司
申请日:2023-11-28
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117850169A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20;H01L21/027;H01J3/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开
摘要:本发明提供一种电子束发射电路以及电子束直写装置,包括:M个电子束源发射模块以及电子束源控制模块;M为大于等于1的整数;电子束源控制模块用于产生N种选通信号,N为大于等于2的整数;各电子束源发射模块分别连接电子束源控制电路;其中,各电子束源发射模块中任一电子束源发射模块在同时接收到N种选通信号时导通,进而发射对应的电子束。本发明能解决现有的电子直写技术存在的电子束流强度低、图形精度不足、直写效率不够以及不易控制等问题。
主权项:1.一种电子束发射电路,其特征在于,所述电子束发射电路包括:M个电子束源发射模块以及电子束源控制模块;M为大于等于1的整数;电子束源控制模块用于产生N种选通信号,N为大于等于2的整数;各电子束源发射模块分别连接电子束源控制电路;其中,各电子束源发射模块中任一电子束源发射模块在同时接收到N种选通信号时导通,进而发射对应的电子束。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海集成电路材料研究院有限公司 电子束发射电路以及电子束直写装置
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