申请/专利权人：苏州译品芯半导体有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855127A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆切割批量负压转移装置，涉及晶圆转移技术领域。该种晶圆切割批量负压转移装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有放置台，且底板的顶部固定连接有机械手，所述机械手上固定连接有安装板，所述安装板的底部设置有用于对晶圆本体进行吸附的第一吸附组件、第二吸附组件以及第三吸附组件，所述第一吸附组件包括固定连接在安装板底部的两个对称设置的第一支撑板。该种晶圆切割批量负压转移装置，便于对多个晶圆本体进行批量转移，并能够避免多个晶圆本体干涉，从而使得切割更加方便、切割的效率更高，并且，能够对第一吸盘、第二吸盘以及第三吸盘进行自动抽气负压处理，使用更加方便快捷，更加节能环保。

主权项：1.一种晶圆切割批量负压转移装置，包括底板（1），所述底板（1）的顶部固定连接有放置台（11），且底板（1）的顶部固定连接有机械手（13），所述机械手（13）上固定连接有安装板（14），其特征在于：所述安装板（14）的底部设置有用于对晶圆本体（12）进行吸附的第一吸附组件（15）、第二吸附组件（16）以及第三吸附组件（17），所述第一吸附组件（15）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第一支撑板（1501），且各个第一支撑板（1501）的侧壁通过第一转轴（1502）转动连接有第一吸管（1503），所述第一吸管（1503）的下端固定连接有第一吸盘（1504），且第二吸附组件（16）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第二支撑板（1601），且第二支撑板（1601）的侧壁通过第二转轴（1602）转动连接有第二吸管（1603），所述第二吸管（1603）的下端固定连接有第二吸盘（1604），且第三吸附组件（17）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第三支撑板（1701），且第三支撑板（1701）的侧壁固定连接有固定杆（1702），所述固定杆（1702）的另一端固定连接有第三吸管（1703），且第三吸管（1703）的下端固定连接有第三吸盘（1704），所述第一转轴（1502）的转动通过第一驱动机构（2）进行驱动，且第二转轴（1602）的转动通过第二驱动机构（4）进行驱动，所述安装板（14）的底部设置有用于对第一吸盘（1504）、第二吸盘（1604）以及第三吸盘（1704）进行抽气的抽气机构（8）；所述抽气机构（8）包括固定连接在安装板（14）底部的U形板（801），且U形板（801）的顶部固定插设有出气管（812），所述出气管（812）内设置有第一单向阀（803），且出气管（812）的下端固定连接有第一连接管（802），所述第一连接管（802）的下端固定连接有第二连接管（804），且第二连接管（804）内设置有第二单向阀（805），所述第二连接管（804）的下端固定连接有第三连接管（806），且第三连接管（806）的侧壁固定连接有多个软管（807），所述软管（807）的侧壁设置有第一电磁阀（808），且软管（807）的下端与第一吸管（1503）、第二吸管（1603）以及第三吸管（1703）的顶部固定，所述第一吸管（1503）、第二吸管（1603）以及第三吸管（1703）的顶部固定连接有第二电磁阀（809），所述第一连接管（802）的侧壁固定连接有工作管（810），且工作管（810）内通过移动组件（9）连接有活塞（811）。

全文数据：

权利要求：

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