申请/专利权人：奕瑞新材料科技(太仓)有限公司

申请日：2022-12-22

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN116254591B

主分类号：C30B9/04

分类号：C30B9/04;C30B29/12;C30B9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2023.06.30#实质审查的生效;2023.06.13#公开

摘要：本发明属于单晶制备技术领域，具体涉及一种晶体批量生长设备及批量生长卤化物闪烁晶体的方法。隔热炉壁、隔热炉底、隔热炉盖围合形成炉腔；底部加热器平铺设置在炉腔底部；导热垫层平铺设置在底部加热器的上侧，用于在底部加热器的热量向上传递时形成缓冲；安放架填充在炉腔内，采用隔热材料制成，内部开设通孔以容纳晶体生长容器；顶部加热器平铺放置在安放架上，用于在炉腔顶部供热；底部温度传感器监测安放架底部的温度；顶部温度传感器监测安放架顶部的温度。装置能适配不同尺寸的晶体，结构简单，维护保养方便，尤其是能够大批量地生长大尺寸规格的组分和性状均一的高品质的新型低熔点卤化物闪烁晶体。

主权项：1.一种晶体批量生长设备，其特征在于：具有隔热炉壁（2），其采用隔热材料围合形成柱形的炉腔；隔热炉底（4），其采用隔热材料将炉腔底部封闭，其隔热性能弱于隔热炉壁（2）；隔热炉盖（1），其采用隔热材料可拆卸地将炉腔顶部封闭，其隔热性能强于隔热炉底（4）；底部加热器（41），其平铺设置在炉腔底部，用于在炉腔底部供热；导热垫层（5），其平铺设置在底部加热器（41）的上侧，用于在底部加热器（41）的热量向上传递时形成缓冲；安放架（3），其为填充在于炉腔内的采用隔热材料制成的柱状件，其内部开设若干上下贯通的通孔以容纳晶体生长容器（7）；顶部加热器（11），其平铺放置在安放架（3）上，用于在炉腔顶部供热；底部温度传感器（9），其设置在导热垫层（5）与安放架（3）交界部位，用以监测安放架（3）底部的温度；顶部温度传感器（8），其设置在顶部加热器（11）与安放架（3）交界部位，用以监测安放架（3）顶部的温度；在安放架（3）内部还具有若干体相温度传感器（10），所述体相温度传感器（10）埋设在安放架（3）的不同高度上，以监测不同高度处的温度；在所述隔热炉底（4）下侧还垫设有减震支撑座（6）；所述减震支撑座（6）包括重量块和垫设在所述重量块底部以支撑重量块的若干弹簧阻尼垫；所述炉腔呈圆柱形，所述安放架（3）内容纳晶体生长容器（7）的通孔呈圆柱形；所述底部加热器（41）由基板和均布其上表面的加热丝构成，所述顶部加热器（11）由基板和均布其下表面的加热丝构成；所述安放架（3）由纤维隔热材料制成，材质为硅酸铝纤维、高铝纤维、氧化铝纤维、氧化锆纤维中的任意一种；所述隔热炉壁（2）由纤维隔热材料制成，材质为硅酸铝纤维、高铝纤维、氧化铝纤维、氧化锆纤维中的任意一种；所述导热垫层（5）的材质为氧化铝、碳化硅中的任意一种，厚度为3-50mm。

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权利要求：

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