申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827490U

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本申请涉及一种水冷屏结构和单晶硅生长装置。水冷屏结构包括进水管道、出水管道和多个水冷管，各水冷管均为环形。通过将多个环形水冷管沿重力方向依次间隔设置，从而形成多级并联式的冷却水管道。如此，冷却液从进水管道流入每一层级的水冷管后，冷却液不仅会沿着环形轨迹在当前层级的水冷管内流动，而且还会回流至其他层级的水冷管，也即冷却液的流动路径延长，从而提升了冷却液与晶棒的热交换时间，有利于二者的充分换热，进而有效地将晶棒降温，提高拉晶速度。同时，由于多个水冷管间隔设置，即二者具有间距，因此能够降低相邻水冷管之间的温度干扰，使得晶棒具有一定的温度梯度，提升拉晶速度。

主权项：1.一种水冷屏结构，用于冷却晶棒，其特征在于，所述水冷屏结构包括：多个水冷管110，各所述水冷管110均为环形；多个所述水冷管110共轴且沿重力方向依次间隔设置，并围设出供所述晶棒穿设的收容空间111；进水管道120，与各所述水冷管110一一连通，用于将冷却液分别引入各所述水冷管110；出水管道130，与各所述水冷管110一一连通，用于将各所述水冷管110内的冷却液排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司 水冷屏结构和单晶硅生长装置

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