申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117846987A

主分类号：F04D19/04

分类号：F04D19/04;F04B37/08;F04B37/04;B01D53/00;B01D53/04;B01D53/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种复合冷凝分子筛吸附泵。一种复合冷凝分子筛吸附泵，包括：壳体，所述壳体内设有真空腔室，所述壳体设有进气口和出气口，所述进气口适于进入真空残余气体，所述真空残余气体混合有水蒸气或油蒸汽；分子泵组件，所述分子泵组件与进气口连通；分子筛组件，所述分子筛组件与出气口连通；制冷温控组件，所述制冷温控组件设于分子泵与分子筛组件之间，在工作状态下，所述分子泵以将真空残余气体压缩，所述制冷温控组件以对被压缩的真空残余气体进行冷凝，经冷凝后的真空残余气体中的水蒸气或油蒸汽被分子筛组件吸收。本发明解决分子泵难以抽吸真空中的水蒸气或油蒸汽的问题，从而提供一种复合冷凝分子筛吸附泵。

主权项：1.一种复合冷凝分子筛吸附泵，其特征在于，包括：壳体3，所述壳体3内设有真空腔室，所述壳体3设有进气口5和出气口6，所述进气口5适于进入真空残余气体，所述真空残余气体混合有水蒸气或油蒸汽；分子泵组件2，所述分子泵组件2与进气口5连通；分子筛组件4，所述分子筛组件4与出气口6连通；制冷温控组件1，所述制冷温控组件1设于分子泵与分子筛组件4之间，在工作状态下，所述分子泵以将真空残余气体压缩，所述制冷温控组件1以对被压缩的真空残余气体进行冷凝，经冷凝后的真空残余气体中的水蒸气或油蒸汽被分子筛组件4吸收。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种复合冷凝分子筛吸附泵

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