申请/专利权人：中北大学

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848557A

主分类号：G01L1/22

分类号：G01L1/22;G01L5/00;G01L9/04;G01L19/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明属于压力传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度高频响石墨烯压力传感器，封装外壳上设置有盖帽，封装外壳内部底端安装有陶瓷基座，陶瓷基座上部键合有检测基片，检测基片下部刻蚀有腔，第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁均与检测基片连接，第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁与检测基片的连接处分别刻蚀有第一非穿透孔、第二非穿透孔、第三非穿透孔、第四非穿透孔。本发明在普通十字梁结构的基础上创造性地引入了中心岛和非穿透孔结构，在同一压力下传感器内部的纳米检测单元所能感知到的应变更大，大幅提高了传感器的灵敏度，同时在适当的结构尺寸下提高了压力传感器的结构刚度，进而提高了传感器本身的固有频率。

主权项：1.一种高灵敏度高频响石墨烯压力传感器，其特征在于：包括封装外壳12、陶瓷基座16、检测基片15、纳米检测单元、传压硅膜1、盖帽17、第一弹性梁13-1、第二弹性梁13-2、第三弹性梁13-3、第四弹性梁13-4、第一非穿透孔11-1、第二非穿透孔11-2、第三非穿透孔11-3、第四非穿透孔11-4和焊接金属21，所述封装外壳12通过焊接金属21与盖帽17键合或焊接连接，所述封装外壳12内部底端安装有陶瓷基座16，所述陶瓷基座16上部键合有检测基片15，所述检测基片15下部刻蚀有腔，形成一个中心岛14和第一弹性梁13-1、第二弹性梁13-2、第三弹性梁13-3、第四弹性梁13-4，所述第一弹性梁13-1、第二弹性梁13-2、第三弹性梁13-3、第四弹性梁13-4均与检测基片15连接，所述第一弹性梁13-1、第二弹性梁13-2、第三弹性梁13-3、第四弹性梁13-4与检测基片15的连接处分别刻蚀有第一非穿透孔11-1、第二非穿透孔11-2、第三非穿透孔11-3、第四非穿透孔11-4。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中北大学 一种高灵敏度高频响石墨烯压力传感器

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