申请/专利权人：德清卡诺晶体纤维有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117840771A

主分类号：B23P23/06

分类号：B23P23/06;B23P15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及炉芯制作技术领域，提出了PECVD和硼扩加热炉内芯制作装置及其生产工艺，装置包括底座和转动连接于底座外表面的转辊，还包括底部支架和炉体管；所述炉体管的一端活动连接有底固定板，另一端固定连接有顶固定板，所述顶固定板的外表面活动连接有顶部闷板，所述顶固定板的外表面固定连接有真空管，所述顶固定板的外表面开设有卡孔，所述底固定板的外表面开设有卡槽。通过上述技术方案，解决了现有加热炉芯制作工艺容易产生倒丝坍塌，高温稳定性较差，炉管内细丝工艺技术在稳定性上得到加强，但寿命较短，现有炉芯在700℃以下的镀膜工艺寿命可以达到半年及以上，但是在1050℃镀膜工艺下的硼扩炉内的寿命往往只有1‑3个月，甚至更短的问题。

主权项：1.PECVD和硼扩加热炉内芯制作装置，包括底座1和转动连接于底座1外表面的转辊2，其特征在于，还包括底部支架5和炉体管10；所述炉体管10的一端活动连接有底固定板6，另一端固定连接有顶固定板7，所述顶固定板7的外表面活动连接有顶部闷板8，所述顶固定板7的外表面固定连接有真空管9，所述顶固定板7的外表面开设有卡孔12，所述底固定板6的外表面开设有卡槽11，所述卡孔12的内部分别贯穿设置有塑料条13和空心钢管14，所述炉体管10的外表面绕设有脱模布15。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 德清卡诺晶体纤维有限公司 PECVD和硼扩加热炉内芯制作装置及其生产工艺

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