申请/专利权人：东京威尔斯股份有限公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848952A

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/88;G01N21/956

优先权：["20221007 JP 2022-162661"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供有利于高精度地进行芯片产品中的多个对象的检查的产品检查装置。第一照明装置向相对于铅垂线呈第一角度的方向射出第一检查光，第二照明装置向相对于铅垂线呈比第一角度大的第二角度的方向射出具有与第一检查光的波长不同的波长的第二检查光。拍摄装置获取被照射了第一检查光和第二检查光的芯片产品的拍摄图像。图像处理装置进行图像处理，在图像处理中，基于拍摄图像中的第一检查光的图像成分检测芯片器件的状态，基于拍摄图像中的第二检查光的图像成分检测载带的状态，基于拍摄图像中的第一检查光的图像成分与第二检查光的图像成分这两者检测上盖带中的至少一部分的状态。

主权项：1.一种产品检查装置，其特征在于，对芯片产品进行检查，所述芯片产品包括具有空腔的载带、位于空腔内的芯片器件、以及以覆盖所述芯片器件的方式安装于所述载带的上盖带，所述产品检查装置具备：第一照明装置，其向相对于铅垂线呈第一角度的方向射出第一检查光；第二照明装置，其向相对于铅垂线呈比所述第一角度大的第二角度的方向射出具有与所述第一检查光的波长不同的波长的第二检查光；拍摄装置，其获取被照射了所述第一检查光和所述第二检查光的所述芯片产品的拍摄图像；以及图像处理装置，其进行图像处理，在所述图像处理中，基于所述拍摄图像中的所述第一检查光的图像成分来检测所述芯片器件的状态，基于所述拍摄图像中的所述第二检查光的图像成分来检测所述载带的状态，基于所述拍摄图像中的所述第一检查光的图像成分以及所述第二检查光的图像成分这两者来检测所述上盖带中的至少一部分的状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京威尔斯股份有限公司 产品检查装置

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