申请/专利权人：汨罗市福缘新材料有限公司

申请日：2020-11-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN112325637B

主分类号：F27B14/00

分类号：F27B14/00;F27B14/12;F27B14/10;F27B17/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.02.05#公开

摘要：本发明公开了一种内部加强的多腔石墨坩埚，包括圆柱形的坩埚体以及上表面带气孔的坩埚盖，坩埚体顶面上设置有带若干焙烧腔的圆形盲槽，每个焙烧腔的内壁上成型有至少一个环形凹槽，环形凹槽内成型有氮化硅陶瓷环，氮化硅陶瓷环的内表面与焙烧腔的内壁处于同一平面，且在该平面上成型有若干竖向设置导气槽，该导气槽上部连接坩埚盖的中空夹层，而在坩埚盖在该夹层中填充有高导热孔隙填充物；而坩埚体的中心位置设置有通槽，并在该通槽下部设置有氮化硅加强座。本发明的石墨坩埚结构紧凑、操作方便，可保证多腔石墨坩埚在连续焙烧过程中的结构稳定性，减少热形变，提高石墨坩埚的使用寿命。

主权项：1.一种内部加强的多腔石墨坩埚，包括坩埚体，其特征在于，所述坩埚体为圆柱形坩埚体，其顶面上设置有圆形盲槽，并在圆形盲槽上部通过与圆形盲槽阶面相匹配的坩埚盖进行面封闭；所述圆形盲槽中成型有若干焙烧腔，所述焙烧腔为截面呈圆形的盲槽结构，深度与待烧结加工的材料深度一致，焙烧腔在所述圆形盲槽的环面上均匀设置，所述焙烧腔的内壁上成型有至少一个环形凹槽，并在所述环形凹槽的槽内成型有氮化硅陶瓷环，所述氮化硅陶瓷环的内表面与焙烧腔的内壁处于同一平面，且在该平面上成型有若干竖向设置导气槽；而在坩埚体的中心位置设置有通槽，并在所述通槽的下部设置有一个氮化硅加强座，所述氮化硅加强座具有与所述通槽相嵌套的环形嵌套部以及设置于环形嵌套部外侧，与坩埚体底面相贴合的盘形下表面；所述坩埚盖具有中空夹层，并在顶面中间位置设置有气孔，并在该中空夹层中填充有高导热孔隙填充物，所述高导热孔隙填充物的导热系数高于所述坩埚盖，且所述高导热孔隙填充物的孔隙率为30～40％；所述坩埚盖在下表面上对应导气槽的位置设置有缺口，并通过缺口连通所述中空夹层。

全文数据：

权利要求：

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