申请/专利权人：上海神力科技有限公司

申请日：2020-01-08

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN111122629B

主分类号：G01N23/2202

分类号：G01N23/2202;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2020.09.01#实质审查的生效;2020.05.08#公开

摘要：本发明涉及一种薄膜材料断面扫描电镜样品制作方法，包括：步骤1：裁剪薄膜材料固定架；步骤2：裁剪薄膜材料；步骤3：将薄膜材料固定在固定架上；步骤4：将固定架放置在容器内；步骤5：制作环氧树脂与环氧树脂固化剂的混合液体，并将混合液体装入容器内；步骤6：待混合液体固化后，将包裹有环氧树脂的薄膜材料样品取出；步骤7：对取出的样品进行切割，形成薄膜材料断面；步骤8：对切割后的样品进行打磨和抛光，并将其加工为所需尺寸。与现有技术相比，本发明具有薄膜材料平整度高、操作方便快捷、效率高等优点。

主权项：1.一种薄膜材料断面扫描电镜样品制作方法，其特征在于，所述的制作方法包括：步骤1：裁剪薄膜材料固定架；步骤2：对需要进行扫描电镜分析的薄膜材料样品进行裁剪；步骤3：将裁剪后的薄膜材料样品固定在固定架上；步骤4：将固定有薄膜材料样品的固定架放置在容器内；步骤5：制作环氧树脂与环氧树脂固化剂的混合液体，并将混合液体装入容器内，液面没过固定架；步骤6：待混合液体固化后，将包裹有环氧树脂的薄膜材料样品取出；步骤7：对取出的样品进行切割，形成薄膜材料断面；步骤8：对切割后的样品进行打磨和抛光，并将其加工为所需尺寸，最终获得薄膜材料断面扫描样品；所述的固定架上设有用于固定薄膜材料样品的背胶；所述的固定架上设有方便对样品进行切割的尺寸标注；所述的步骤7具体为：根据固定架上的尺寸标注对包裹有环氧树脂的薄膜材料样品进行切割，切割后样品的长度为5～15mm，宽度为5～10mm，厚度为0.1～8mm；所述步骤5具体为：步骤5-1：按照重量比2:1的比例调制环氧树脂和环氧树脂固化剂混合液体；步骤5-2：搅拌5～8分钟；步骤5-3：静置2分钟脱泡；步骤5-4：将混合液体装入容器内，液面没过固定架，静置2～5个小时，等待固化；所述的步骤8具体为：依次使用120目、600目、800目、1200目和2000目的砂纸在抛光机上对切割后的样品进行打磨，然后使用抛光膏，在抛光布上面进行抛光；所述的样品打磨后的长度为0.1～5mm，宽度为0.1～8mm，厚度为0.1～8mm；所述的步骤1具体为：在固定架上裁剪出若干个镂空的方形槽，其宽度与扫描电镜样品所需的宽度相同。

全文数据：

权利要求：

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