申请/专利权人:东莞市情创电子科技有限公司
申请日:2022-12-19
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN115931187B
主分类号:G01L1/18
分类号:G01L1/18;B23K26/38;B23K26/70
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权;2023.04.25#实质审查的生效;2023.04.07#公开
摘要:本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法。高灵敏度柔性压力传感器包括下基底层、电极层、粘合层、敏感层和上基底层,所述电极层设置于下基底层的上表面,所述敏感层设置于上基底层的下表面;所述粘合层设置于电极层和敏感层之间以及电极层的两端和敏感层的两端,所述电极层和敏感层分别采用第一导电织布和第二导电织布制成。相比于普通的薄膜压力传感器,本发明能够得到具有高灵敏度的薄膜柔性压力传感器,传感器低至10Pa的力下即可触发;相比于现有的制备高灵敏度的薄膜压力传感器,本发明的柔性压力传感器的结构简单,其制备方法工艺简单、成本较低,利于工业化生产。
主权项:1.一种高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于:包括下基底层、电极层、粘合层、敏感层和上基底层,所述电极层设置于下基底层的上表面,所述敏感层设置于上基底层的下表面;所述粘合层设置于电极层和敏感层之间以及电极层的两端和敏感层的两端,所述电极层和敏感层分别采用第一导电织布和第二导电织布制成;所述第一导电织布和第二导电织布均为镀铜镍导电布,所述镀铜镍导电布包括由内至外依次设置的织布基材层、第一镍层、铜层和第二镍层;所述织布基材层采用聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚丙烯腈纤维或聚氨酯纤维中的至少一种编织而成;所述电极层中的第二镍层的电阻为1-100欧姆方;所述敏感层中的铜层的电阻为100-1000欧姆方,所述敏感层中的第二镍层的电阻为1000-1000000欧姆方。
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权利要求:
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