申请/专利权人：清华大学

申请日：2022-01-06

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114353958B

主分类号：G01J5/22

分类号：G01J5/22;G01J5/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.05.03#实质审查的生效;2022.04.15#公开

摘要：本文公开一种谐振型传感器，包括：与谐振振子连接的一个以上支撑锚，支撑锚包括一个以上连接件形状的结构和一个以上支撑结构；其中，连接件结构用于与谐振振子的侧壁连接；支撑锚包含的连接件结构和支撑结构一体成型，组成的形状为除矩形和梯形以外的形状。本发明实施例通过由连接件结构和支撑结构组成的非矩形和非梯形结构的支撑锚，在保持支撑锚承受应力的同时提升了支撑锚的热阻，设计实现了满足灵敏度和响应时间要求的传感器。

主权项：1.一种谐振型传感器，包括：与谐振振子连接的一个以上支撑锚，所述支撑锚包括一个以上连接件形状的结构和一个以上支撑结构；其中，连接件结构用于与谐振振子的侧壁连接；所述支撑锚包含的所述连接件结构和所述支撑结构一体成型，组成的形状为除矩形和梯形以外的形状；其中，所述支撑锚的外周轮廓中的第一特征点和第二特征点作为端点组成的特征截线，组成的特征截线包括以下特征：存在一个以上特征轮廓，特征轮廓上存在两个特征截线的法向矢量的夹角大于预设角度；第一特征点为由预设时刻从第一起始点出发，在第一轮廓路径中通过预设速度进行第一预设时长的位移后到达的点；第二特征点为由预设时刻从第二起始点出发，在第二轮廓路径中通过预设速度进行第一预设时长的位移后到达的点；第一轮廓路径为从第一起始点沿着特征轮廓到特征轮廓的中间点的路径；第二轮廓路径为从所述第二起始点沿着特征轮廓到特征轮廓的中间点的路径；在每一个特征轮廓上，第一起始点和第二起始点为特征轮廓的端点；特征轮廓为：支撑锚的俯视图的外周轮廓上，剔除任一连接件结构与谐振振子侧壁连接位置的轮廓线后，剩余的外周轮廓；第一预设时长大于零但小于第二预设时长，第二预设时长为从第一起始点出发在第一轮廓路径中通过预设速度位移后到达特征轮廓的中间点的时长。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 一种谐振型传感器

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