申请/专利权人：成都先进功率半导体股份有限公司

申请日：2022-04-14

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114821983B

主分类号：G08B21/18

分类号：G08B21/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开

摘要：本发明公开了一种粘Die自动化处理装置及方法，属于半导体封装设备领域，包括：包括：控制模块、电磁阀、压缩气源、小机头、吸嘴、设备主机，所述电磁阀与所述压缩气源通过气管连接，所述电磁阀与所述小机头通过气管连接，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块，通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量，通过报警处理间隔判断，防止了无限制的处理预设的报警，降低了手动进行报警处理的次数。

主权项：1.一种粘Die自动化处理装置，包括：小机头、吸嘴，所述小机头安装在线性马达上面，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，其特征在于，所述处理装置还包括控制模块、设备主机、电磁阀、压缩气源，所述电磁阀与所述压缩气源和所述小机头通过气管连接；所述控制模块分别与所述设备主机和所述电磁阀通信连接，所述控制模块用于反馈所述控制模块当前的状态，以及控制所述电磁阀的启闭，控制压缩空气通过气管来吹掉所述吸嘴上吸附的异常芯片；所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块；所述报警检测与处理模块用于接收和读取设备报警信息，并判断所述设备报警信息是否为需要处理的设备报警信息，以及用于报警时间间隔的判断；所述需要处理的设备报警信息为粘Die和或NODie，所述报警检测与处理模块包括以下步骤：若设备报警信息为粘Die，则包括：初始化检测参数，搜索是否报警，是则判断报警间隔是否大于等于检测间隔，否则返回重新搜索是否报警；判断所述报警间隔大于等于所述检测间隔，是则更新处理报警时间并清除报警，所述设备主机发出控制信号至所述控制模块，所述控制模块控制所述电磁阀进行吹气，并判断吹气是否成功；判断所述报警间隔小于所述检测间隔，则弹出提示并停止，并初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装；判断吹气成功则所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志，判断吹气失败，则初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装；若设备报警信息为NODie，则包括：初始化检测参数，搜索是否报警，是则判断报警间隔是否大于等于检测间隔，否则返回重新搜索是否报警；判断所述报警间隔大于等于所述检测间隔，则更新处理报警时间并清除报警，移动wafer至下一颗芯片，所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志；判断所述报警间隔小于所述检测间隔，则弹出提示并停止，再初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装；所述串行端口通讯模块用于将控制所述电磁阀启闭的信号传递到所述控制模块中；所述吹气模块用于对所述控制模块发送和接收的信息进行进制转换；所述主程序模块分别与所述报警检测与处理模块、所述串行端口通讯模块以及所述吹气模块通信连接，用于模块间的信息交互。

全文数据：

权利要求：

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