申请/专利权人：合肥汉旸科技材料有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220752514U

主分类号：G03F7/16

分类号：G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40;H05B3/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请涉及基板干燥技术领域，且公开了一种光刻胶减压干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱上设置有密封门，所述干燥箱的顶部固定安装有风机，所述风机的输出端安装有真空机构，所述干燥箱的内底部固定安装有干燥台，所述干燥箱内一侧固定安装有反光镜，所述干燥箱内远离所述反光镜的一侧固定安装有两组安装块，所述安装块之间活动安装有与所述反光镜配合的电热灯，所述电热灯上安装有调节机构；本申请通过齿轮往复转动来带动圆杆进行往复转动，通过十字槽配合十字块的作用，圆杆可以带动电热灯进行往复转动，具有可以对光刻胶进行均匀加热的效果，使得基板成像更加清晰。

主权项：1.一种光刻胶减压干燥装置，包括干燥箱1，所述干燥箱1上设置有密封门2，其特征在于：所述干燥箱1的顶部固定安装有风机3，所述风机3的输出端安装有真空机构，所述干燥箱1的内底部固定安装有干燥台4，所述干燥箱1内一侧固定安装有反光镜5，所述干燥箱1内远离所述反光镜5的一侧固定安装有两组安装块6，所述安装块6之间活动安装有与所述反光镜5配合的电热灯7，所述电热灯7上安装有调节机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥汉旸科技材料有限公司 一种光刻胶减压干燥装置

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