申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-10-11

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117884329A

主分类号：B05D3/04

分类号：B05D3/04

优先权：["20221013 JP 2022-164794"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明提供一种对涂敷膜的干燥不均进行抑制的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置1具备腔室10、支撑部20、冷却部40、第一升降部100、减压机构30和控制部80。支撑部20在腔室内支撑基板9。冷却部40冷却与基板9的上表面相对的冷却面40a。第一升降部100使支撑部和冷却面中的至少任一方在基板与冷却面之间的间隔为第一间隔的第一状态与该间隔为宽于所述第一间隔的第二间隔的第二状态之间升降。减压机构吸引腔室内的气体，降低腔室内的气压。控制部控制第一升降部和减压机构，使得在第一状态下使腔室内的气压达到第一气压之后，在第二状态下使腔室内的气压达到低于第一气压的第二气压。

主权项：1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具备：腔室，容纳所述基板；支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；冷却部，对与由所述支撑部支撑的所述基板的所述上表面相对的冷却面进行冷却；第一升降部，使所述支撑部和所述冷却面中的至少任一方在第一状态与第二状态之间升降，所述第一状态下，由所述支撑部支撑的所述基板与所述冷却面之间的间隔为第一间隔，所述第二状态下，由所述支撑部支撑的所述基板与所述冷却面之间的间隔为宽于所述第一间隔的第二间隔；减压机构，吸引所述腔室内的气体，使所述腔室内的气压降低；以及控制部，控制所述第一升降部和所述减压机构，使得在所述第一状态下使所述腔室内的气压达到第一气压之后，在所述第二状态下使所述腔室内的气压达到低于所述第一气压的第二气压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 减压干燥装置及减压干燥方法

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