申请/专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220752298U

主分类号：G01R31/66

分类号：G01R31/66;G01R31/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请公开了一种连接状态检测装置、开关门装置及半导体加工设备，所述连接状态检测装置，用于检测第一连接件和第二连接件的连接状态，连接状态包括分离状态和结合状态，连接状态检测装置包括：导线，导线固定于第一连接件和第二连接件上，导线配置为在第一连接件和第二连接件处于分离状态时断开；控制单元，导线的两端连接所述控制单元，控制单元配置为检测所述导线的导通和断开；报警单元，连接控制单元，配置为在导线断开时发出报警信号。根据本申请的连接状态检测装置、开关门装置及半导体加工设备，能够在连接件分离时及时检测并报警，结构简单，成本较低。

主权项：1.一种连接状态检测装置，用于检测第一连接件和第二连接件的连接状态，所述连接状态包括分离状态和结合状态，其特征在于，所述连接状态检测装置包括：导线，所述导线固定于所述第一连接件和所述第二连接件上，所述导线配置为在所述第一连接件和所述第二连接件处于所述分离状态时断开；控制单元，所述导线的两端连接所述控制单元，所述控制单元配置为检测所述导线的导通和断开；报警单元，连接所述控制单元，配置为在所述导线断开时发出报警信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 连接状态检测装置、开关门装置及半导体加工设备

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