申请/专利权人：郑州航空工业管理学院

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746073U

主分类号：C23C16/27

分类号：C23C16/27;C23C16/511

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开一种用于沉积金刚石的MPCVD装置，包括微波谐振反应腔和位于下方的微波传输装置，微波谐振反应腔包括位于上部的主腔体和位于下部的底座腔体，在主腔体顶部一侧设有进气机构，环形石英板水平横跨设在主腔体和底座腔体扣合连接处，水冷天线与样品台一体机构嵌套设在环形石英板的中心孔中，水冷天线与样品台一体机构底部连通的竖直同轴天线延伸至位于微波传输装置的同轴波导外部，且在竖直同轴天线内腔设有延伸至水冷天线与样品台一体机构内部用于冷却钼台的水冷机构，钼台设在水冷天线与样品台一体机构的上方；在主腔体上设有便于取放产品的开关门机构，在其另一侧设有用于排气的真空管。本装置有效保证腔体内真空度，维持反应所需气压。

主权项：1.一种用于沉积金刚石的MPCVD装置，其特征在于：包括微波传输装置和与其连通的用于沉积金刚石的微波谐振反应腔，所述微波传输装置位于微波谐振反应腔的下方，所述微波谐振反应腔腔内设置有环形石英板（10）、钼台（12）、水冷天线与样品台一体机构（11）；所述微波谐振反应腔腔体包括位于上部的主腔体（13）和位于下部的底座腔体（9），在主腔体（13）顶部一侧还设置有进气机构，所述环形石英板（10）水平横跨设置在主腔体（13）和底座腔体（9）扣合连接处之间的侧壁上，水冷天线与样品台一体机构（11）嵌套设置在环形石英板（10）的中心孔中，所述水冷天线与样品台一体机构（11）底部连通的竖直同轴天线延伸至位于微波传输装置的同轴波导外部，且在竖直同轴天线内腔设置有延伸至水冷天线与样品台一体机构（11）内部用于冷却钼台的水冷机构，所述钼台（12）设置在水冷天线与样品台一体机构（11）的上方；在主腔体（13）上设置有便于取放产品的开关门机构，在主腔体（13）的另一侧设置有用于排气的真空管（16）。

全文数据：

权利要求：

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