申请/专利权人：青岛融合装备科技有限公司

申请日：2023-05-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753391U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及超薄晶片的生产领域，具体涉及一种用于超薄晶片的吸盘装置，包括吸盘盒、总气管和吸盘单元，吸盘盒内部设置吸盘单元，吸盘盒侧面设置总气管，总气管外部连接有气缸；本实用新型通过将传统的大吸盘分解成若干个小吸盘，将原来大而集中的吸力转化成小而分散的吸力，然后精确控制吸盘对超薄晶片的吸力，使超薄晶片各部分受力均匀，从而解决超薄晶片因太薄，易碎易损坏的问题。

主权项：1.用于超薄晶片的吸盘装置，包括吸盘盒1、总气管2和吸盘单元6，其特征在于：吸盘盒1内部设置吸盘单元6，吸盘盒1侧面设置总气管2，总气管2外部连接有气缸；吸盘单元6顶部设置单元总气管7，单元总气管7底部设置吸力控制器8，吸力控制器8通过吸盘分路气管9和若干吸盘10连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛融合装备科技有限公司 用于超薄晶片的吸盘装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD