申请/专利权人：惠州市拓普金属材料有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746060U

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及溅射靶材技术领域，本实用新型公开了一种带背板的组合式溅射靶材组件，包括溅射靶材、背板和两个连接块，所述背板位于溅射靶材的后侧，两个连接块分别位于溅射靶材的顶部和底部，所述连接块的表面与背板的内腔接触，所述背板内腔的顶部和底部均开设有放置槽；所述放置槽的内腔设置有与溅射靶材配合使用的定位机构；所述放置槽的内腔设置有与定位机构配合使用的传动机构。解决了溅射靶材与背板组装的过程中需要通过焊接或螺纹连接结构进行固定，其组装过程较为繁琐，且不便于使用者快速的溅射靶材与背板进行组装固定，因此降低了溅射靶材的组装便捷性的问题。

主权项：1.一种带背板的组合式溅射靶材组件，包括溅射靶材1、背板2和两个连接块3，其特征在于：所述背板2位于溅射靶材1的后侧，两个连接块3分别位于溅射靶材1的顶部和底部，所述连接块3的表面与背板2的内腔接触，所述背板2内腔的顶部和底部均开设有放置槽4；所述放置槽4的内腔设置有与溅射靶材1配合使用的定位机构5；所述放置槽4的内腔设置有与定位机构5配合使用的传动机构6。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 惠州市拓普金属材料有限公司 一种带背板的组合式溅射靶材组件

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