申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746059U

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/50;H01L21/68;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：一种晶圆溅镀定位治具，包括圆形底座，底座上同轴设置有圆形安装基座，安装基座上同轴设置有环形支撑台，支撑台上同轴安装有定位环，定位环上沿周向均布开设有若干竖直的安装孔，每个安装孔内均配合插入有与支撑台螺纹连接的紧固件，所述定位环的上端同轴设有定位孔一，定位孔一的孔深为3.7‑4.2mm，定位孔一的内径为205.1‑206.2mm；定位环的下端同轴设有定位孔二，定位孔二的孔深为3.6‑4.1mm，定位孔二的内径为157.4‑158.4mm，所述定位孔一和定位孔二之间留有环形支撑部，环形支撑部与定位环同轴设置。能够防止定位环上的晶圆位置发生偏移导致晶圆溅镀异常，从而减少晶圆溅镀异常的产品发生率。

主权项：1.一种晶圆溅镀定位治具，包括圆形底座，底座上同轴设置有圆形安装基座，安装基座的直径小于底座的直径，安装基座上同轴设置有环形支撑台，其特征在于，所述支撑台上同轴安装有定位环，定位环上沿周向均布开设有若干竖直的安装孔，每个安装孔内均配合插入有与支撑台螺纹连接的紧固件，所述定位环的上端同轴设有定位孔一，定位孔一的孔深为3.7-4.2mm，定位孔一的内径为205.1-206.2mm；定位环的下端同轴设有定位孔二，定位孔二的孔深为3.6-4.1mm，定位孔二的内径为157.4-158.4mm，所述定位孔一和定位孔二之间留有环形支撑部，环形支撑部与定位环同轴设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种晶圆溅镀定位治具

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