申请/专利权人:钰镍(上海)半导体科技有限公司
申请日:2023-09-18
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN220749335U
主分类号:F16L21/035
分类号:F16L21/035;F16L21/08
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权
摘要:本实用新型公开了一种高纯气体管路,包括主管路,且主管路与气体储罐相连接,并且主管路的外侧等间距设置有副管路;还包括:所述副管路的底部均固定安装有对接头,且对接头的底部用于对接使用端的连接管路,并且对接头的底部边缘处等角度贯穿转动连接有锁定杆,而且锁定杆与卡槽相连接,同时卡槽对应开设于连接管路与对接头连接的对接面上;所述对接头的端面上铺设有一圈密封囊,且密封囊用于对连接管路和对接头的连接处进行密封处理。该高纯气体管路,在使用过程中,通过锁定杆与卡槽的连接,可以快速稳定的将对接头与连接管路进行安装固定,并且通过密封囊的设置,能够对连接处进行加强密封,避免气体泄漏。
主权项:1.一种高纯气体管路,包括主管路1,且主管路1与气体储罐相连接,并且主管路1的外侧等间距设置有副管路2;其特征在于:还包括:所述副管路2的底部均固定安装有对接头3,且对接头3的底部用于对接使用端的连接管路4,并且对接头3的底部边缘处等角度贯穿转动连接有锁定杆10,而且锁定杆10与卡槽11相连接,同时卡槽11对应开设于连接管路4与对接头3连接的对接面上;所述对接头3的端面上铺设有一圈密封囊16,且密封囊16用于对连接管路4和对接头3的连接处进行密封处理。
全文数据:
权利要求:
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