申请/专利权人：济南兰星电子有限公司

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220738270U

主分类号：B05C9/10

分类号：B05C9/10;B05C9/12;B05C5/02;B05C11/02;B05D3/04;B08B3/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及涂胶的技术领域，特别是涉及便于硅片涂覆的涂覆装置，其可以对硅片表面均匀的涂胶，保证了胶水的涂覆厚度，提高了胶水的涂覆效果，可靠性和实用性高；包括底板、支架和水箱，水箱通过支架安装在底板上端，水箱的内部设置有腔室，水箱的上端为开口；还包括清洗机构、干燥机构、旋转机构、升降机构、三爪卡盘、注胶管、排胶管、刮板和胶泵，水箱的内部设置有清洗机构，清洗机构用于对硅片清洗，干燥机构安装在水箱上，干燥机构用于对硅片干燥，三爪卡盘通过旋转机构安装在水箱的腔室内。

主权项：1.便于硅片涂覆的涂覆装置，包括底板1、支架2和水箱3，水箱3通过支架2安装在底板1上端，水箱3的内部设置有腔室，水箱3的上端为开口；其特征在于，还包括清洗机构、干燥机构、旋转机构、升降机构、三爪卡盘4、注胶管5、排胶管6、刮板7和胶泵8，水箱3的内部设置有清洗机构，清洗机构用于对硅片清洗，干燥机构安装在水箱3上，干燥机构用于对硅片干燥，三爪卡盘4通过旋转机构安装在水箱3的腔室内，旋转机构用于对三爪卡盘4旋转，胶泵8和注胶管5均安装在升降机构上，升降机构具有升降功能，注胶管5的输入端与胶泵8的输出端连接，排胶管6的输入端与注胶管5连通，排胶管6的输出端设置有多个排胶口，刮板7固定安装在注胶管5的下部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 济南兰星电子有限公司 便于硅片涂覆的涂覆装置

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