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【发明公布】一种砷化镓衬底剥离复用方法_中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司_202311871271.X 

申请/专利权人:中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司

申请日:2023-12-30

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117832325A

主分类号:H01L31/18

分类号:H01L31/18

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明涉及一种砷化镓衬底剥离复用方法,利用多步腐蚀,保证剥离的砷化镓衬底表明光滑,不需要研磨步骤即可实现GaAs衬底复用,具体可在柔性砷化镓太阳电池制备过程中,在衬底和电池外延层间依次设置阻挡层和牺牲层,剥离时,先采用特异性作用于牺牲层的牺牲层腐蚀液去除牺牲层,得到包覆有阻挡层的衬底,再以特异性作用于阻挡层的阻挡层腐蚀液去除阻挡层,从而得到表面粗糙的无损衬底,由于衬底结构在剥离过程中保持了原有结构特征,并未被破坏,可直接用于下一次柔性砷化镓太阳电池的制备,提高了衬底的复用次数,能够降低太阳电池的生产成本。

主权项:1.一种砷化镓衬底剥离复用方法,其特征在于:在电池外延层与砷化镓衬底间设置牺牲层和阻挡层,剥离时,采用特异性作用于牺牲层的牺牲层腐蚀液去除牺牲层,以及特异性作用于阻挡层的阻挡层腐蚀液作用于阻挡层,最终获取砷化镓衬底。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司 一种砷化镓衬底剥离复用方法

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