申请/专利权人：珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117823803A

主分类号：F17C13/00

分类号：F17C13/00;F17C13/04;F17C13/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及一种源瓶送气系统及源瓶送气系统保护方法，涉及半导体技术领域。本发明的源瓶送气系统包括源瓶、进气管路以及出气管路；所述源瓶用于存放待使用物料；所述进气管路与所述源瓶相连，所述进气管路上设有进气安全旁路；所述出气管路与所述源瓶相连，所述出气管路上设有出气安全旁路；其中，所述进气安全旁路的泄放压力大于所述出气安全旁路的泄放压力。本发明所公开的技术方案能够解决现有由于源瓶送气系统的阀件老化卡死、管道被折弯或被异物堵塞、人为忘记开阀等情况，导致源瓶内压力过大引起爆瓶事故的问题。

主权项：1.一种源瓶送气系统，其特征在于，包括：源瓶，用于存放待使用物料；进气管路，与所述源瓶相连，所述进气管路上设有进气安全旁路；以及出气管路，与所述源瓶相连，所述出气管路上设有出气安全旁路；其中，所述进气安全旁路的泄放压力大于所述出气安全旁路的泄放压力。

全文数据：

权利要求：

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